北京电子显微镜中心(以下简称“中心”)是科技部、教育部、北京市科委于 2006 年 12 月在原清华大学电子显微镜实验室基础上建设的以共建共享方式运行的、开放型的、国家级创新性高端科学研究的基础平台。 中心实行固定研究人员
北京市物质科学 材料和器件结构和性能
、高端微纳尺度测量技术及相关仪器系统的研究,在微结构光学测试技术(微视觉、反射差分光谱、显微干涉、X射线三维显微成像等)和扫描探针测试技术等方面取得了系列化的创新成果。自主研制成功多套微结构几何量和机械量光学测试系统和原子力显微镜,解决了超薄
天津市
、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机,以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜(SPM)等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备,可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。 研究室承担过“七五
北京市
曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室于2009年11月通过教育部验收,正式开放运行。 实验室在微纳光子结构领域汇聚复旦大学优秀学科研究力量,逐渐形成了有我国特色并在国际上有着一定影响的研究方向。 主要研究方向为四个
上海市
。在非硅微纳制造基础理论和应用技术领域取得了大量开创性成果,建立的等离子量子模型,预测了激光微纳制造中的若干反常物理现象;改进了著名的双温度方程,解决了10余年来一直未能突破的难题;提出的基于电子动态调控(Electron Dynamics
机理和表面修饰、改性技术以及分散技术与工艺的探索,掌握 微纳材料的功能化及其应用的关键技术。 实验室目前已形成一支专业素质好、学术风气浓,具有凝聚力和创新力的科研队伍。团队研究 人员30多名,其中包括研究员6名、副研究员4名、科研
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,发挥中国科学技术大学和中科院微电子研究所各自在基础与系统研究和高新技术与工艺研发上所具有的优势,适应微纳电子学科向科学化、系统化与多学科交叉方向发展,中国科学技术大学与中科院微电子研究所将共建“微纳电子系统集成研究中心”(下称“共建
安徽省
220号先进材料楼1楼东侧,邮编:200433 复旦大学微纳加工和器件公共实验室成立于2011年6月。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工
万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向,建设完成了专用的MEMS微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线,建立了完善的传感器测试平台,通过了ISO9000质量管理体系认证及GJB9001B-2009国军标体系认证。
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